مصنع الأكسجين PSA لتصنيع أشباه الموصلات
نقاء: 98%-99.5%
مولدات الأوكسجين لتصنيع أشباه الموصلات - المؤشرات الفنية
نقاء الأكسجين:يتطلب تصنيع أشباه الموصلات عادةً أكسجينًا عالي النقاء، مطلوب عمومًا للوصول إلى 99.999% أو حتى أعلى، لضمان جودة وأداء منتجات أشباه الموصلات.
معدل تدفق الأكسجين:وفقًا لحجم الإنتاج ومتطلبات العملية لتصنيع أشباه الموصلات، تحتاج معدات الأكسجين PSA إلى توفير معدل تدفق أكسجين ثابت لتلبية الطلب المستمر على الأكسجين في عملية الإنتاج.
درجة حرارة نقطة الندى:يجب أن يكون محتوى الرطوبة في الأكسجين منخفضًا للغاية، وعادةً ما تكون درجة حرارة نقطة الندى أقل من - 60 درجة لمنع الرطوبة من التأثير السلبي على عملية تصنيع أشباه الموصلات.
محتوى شوائب الجسيمات:يجب التحكم بشكل صارم في محتوى الشوائب الجسيمية في الأكسجين، ويشترط عمومًا أن يكون أقل من 0.1 ميكرون، لتجنب الشوائب الجسيمية المسببة للعيوب على سطح رقائق أشباه الموصلات.
مولد الأوكسجين PSA مع مصنع الأوكسجين PSA
تعد الأكسدة خطوة أساسية وحاسمة في العديد من روابط العمليات الخاصة بتصنيع أشباه الموصلات. على سبيل المثال، في عملية أكسدة رقائق السيليكون، مطلوب الأكسجين عالي النقاء لتشكيل طبقة ثاني أكسيد السيليكون (SiO₂). يمكن استخدام طبقة ثاني أكسيد السيليكون هذه كطبقة عازلة أو كقناع للعمليات اللاحقة. يمكن للأكسجين عالي النقاء الذي توفره معدات الأكسجين PSA (عادة بنقاء يصل إلى 99.999٪ أو حتى أعلى) ضمان دقة واستقرار تفاعل الأكسدة، بحيث تكون طبقة ثاني أكسيد السيليكون المتولدة ذات جودة موحدة وسمك دقيق، والذي مهم جدًا لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء (مثل الترانزستورات في الدوائر المتكاملة).
اختيار نموذج مصنع الأكسجين من سلسلة NTK93 |
||||||
لا. |
نماذج |
السعة (Nm3/hr) |
نقاء |
استهلاك الطاقة للأكسجين 1Nm3 المنتج (كيلوواط/ساعة) |
عدد الزجاجات المملوءة خلال 12 ساعة (قطعة) |
مطلوب عامل |
| 1 | NTK-5ص | 5 | 93%+-3% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | NTK-10ص | 10 | 93%+-3% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | NTK-15ص | 15 | 93%+-3% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | NTK-20ص | 20 | 93%+-3% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | NTK-25ص | 25 | 93%+-3% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | NTK-30ص | 30 | 93%+-3% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | NTK-40ص | 40 | 93%+-3% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | NTK-50ص | 50 | 93%+-3% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | NTK-60ص | 60 | 93%+-3% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | NTK-80ص | 80 | 93%+-3% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | NTK-100ص | 100 | 93%+-3% | 1.83 | 200 | 2 |
| أساس التصميم: الارتفاع: أقل من أو يساوي 500 م؛ الرطوبة النسبية: أقل من أو يساوي 80%؛ درجة الحرارة: 0 درجة -38 درجة؛ ضغط التعبئة: 150 بار 40 لتر من النوع القياسي للأسطوانة | ||||||
الوسم : مصنع الأكسجين psa لتصنيع أشباه الموصلات، مصنع الأكسجين psa في الصين لمصنعي وموردي تصنيع أشباه الموصلات
